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更新時間：2014-12-12
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潔淨室的測試及驗收標準
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
潔淨度級別表示實例
ISO 4級；靜態；給定粒徑0.5微米（352粒子/m3）。
ISO 5級；靜態；給定粒徑0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。
因此，在測試具體的潔淨室的相應潔淨度級別時，不需要檢測如上表所示的該級別的所有粒子粒徑。而隻要檢測為該種潔淨室給定的粒子粒徑。
測定潔淨度級別的方法
在檢測潔淨室的潔淨度級別時，應測定潔淨室內1點或數點的懸浮粒子濃度（即取樣點的粒子濃度）。
因此必須滿足下列要求
1）確認潔淨室的狀態與給定的相符；
2）確定給定粒徑，潔淨室取樣點的數量和位置；
3）確定每一取樣點的取樣數量；
4）確定對每一種給定粒徑在每1取樣點上，每1次取樣的取樣量和取樣時間；
5）取樣之後應對每一種給定粒徑的粒子進行相應統計；
6）將取樣數據填入按各種給定粒徑統計的粒子統計記錄表內（適於采用無計算機軟件的粒子計數器的場合下）；
7）整理取得的數據；
8）對結果進行分析；
9）整理方案確定級別應符合上表要求。
氣流的檢測
在潔淨室中的氣流：
空氣（單向氣流）的風速和風量
空氣單向氣流的風速是在垂直於氣流方向的平麵上並距離風源150-500mm處測得的。
測試點的數量應大於被測表麵麵積的平方根，但不得小於3，應在每一個設定的網格中進行測量，測量點應均勻地分布在平麵上。
應在距離過濾器表麵150mm處測試過濾器出口處的風速。在評價氣流的均勻性時，應在距離過濾器表麵300mm以上處測試風速。
每1點的測量時間不得少於10秒。並且要確定平均值，zui大和zui小值。
氣流的均勻性
根據在垂直於空氣運動方向的平麵上各點的風速測試數據，評價單向氣流的均勻性，建議該平麵應距離過濾器表麵（風口）300毫米以上。
平麵上各點處的風速相差不得超過20%-30%。
檢驗過濾器的整體性
zui終過濾器（HEPA，ULPA過濾器）是潔淨室的重要部分。這些過濾器安設在潔淨室的吊頂和牆上，裝在設備和風管內。應進行泄漏檢查，以控製過濾器的整體性，過濾器的滲漏意味著粒子的滲漏，會超過ГOCTP5125-99。
製造商應在廠內對過濾器作zui大穿透粒徑試驗，附過濾器檢測報告，現場不做檢漏。
溫度的檢測
在潔淨室內采用兩種方法控製溫度：
n 一般控製
n 特殊控製
（一般控製）在通風空調係統投產-調試時，以及在潔淨室檢測的各個階段和使用階段均要進行溫度的一般控製。
規定工作席工作區高度處的溫度，以及必要時，其他工作點的溫度都要加以控製。
在1小時或更多一些的時間內應周期性的連續測試6分鍾。
相對濕度的控製
待通風空調係統工作穩定後，相對濕度的控製可與溫度的測量同時進行。
至少在每一處對相對濕度有要求的區域內設1個點進行相對濕度的測量，為了使傳感器持續穩定，測量的持續時間不得少於6分鍾
潔淨室的測試及驗收標準
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
潔淨室的測試及驗收標準
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
所列為整數級別序數N和zui常見值D的粒子zui大允許濃度
控製潔淨室空氣參數的目的—檢查潔淨室是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的潔淨室檢測階段，還是潔淨室使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地製訂了和提出了潔淨室空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。
在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
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在潔淨室內，按其用途的不同應控製下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、zui終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔淨室的密閉性
8、潔淨室表麵的潔淨度
測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔淨室都是對潔淨室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要製定或參照其他標準。
空氣粒子濃度的檢測
潔淨度級別
潔淨室和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的zui大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔淨室的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的zui大允許濃度確定的。
在確定實際潔淨室的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。
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